Mesin pelapis vakumterutama mengacu pada jenis pelapisan yang perlu dilakukan di bawah tingkat vakum yang relatif tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penguapan ion vakum, sputtering magnetron, epitaksi berkas molekul MBE, deposisi sputtering laser PLD, dll. Ide utamanya adalah membaginya menjadi dua jenis: penguapan dan sputtering.
Proses warna gradien umumnya menggunakan peralatan pelapis sputtering magnetron. Saat ini, casing warna gradien pada banyak model ponsel seperti Huawei dan Lenovo menggunakan proses pelapisan gradien vakum PVD.
Sputtering magnetron adalah salah satu jenis pengendapan uap fisik (Physical Vapour Deposition, PVD). Metode sputtering umum dapat digunakan untuk menyiapkan logam, semikonduktor, isolator, dan bahan lainnya, serta memiliki keunggulan peralatan sederhana, kontrol mudah, area pelapisan besar, dan daya rekat kuat.
Metode sputtering magnetron yang dikembangkan pada tahun 1970an telah mencapai kecepatan tinggi, suhu rendah, dan kerusakan rendah. Karena sputtering berkecepatan tinggi dilakukan pada tekanan rendah, laju ionisasi gas harus ditingkatkan secara efektif. Sputtering magnetron memperkenalkan medan magnet ke permukaan katoda target dan menggunakan medan magnet untuk membatasi partikel bermuatan guna meningkatkan kepadatan plasma guna meningkatkan laju sputtering.
Mesin pelapis vakum sputtering Magnetron adalah peralatan yang paling umum digunakan untuk melapisi produk yang ada dalam kondisi vakum. Mesin pelapis vakum sputtering magnetron lengkap terdiri dari beberapa bagian sistem. Setiap sistem dapat menyelesaikan fungsi berbeda untuk mencapai lapisan akhir-berkualitas tinggi. Komponen lapisan sputtering magnetron meliputi ruang vakum, pompa mekanis, sistem uji vakum, pompa difusi oli, sistem vakum, pompa kondensasi, sistem kontrol pembentukan film, dll.
Bagian utama dari mesin pelapis vakum sputtering magnetron adalah ruang vakum. Besar kecilnya ruang vakum ditentukan oleh produk olahannya. Ukuran lapisan sputtering magnetron dapat disesuaikan. Ruangan tersebut umumnya terbuat dari baja tahan karat dan harus kuat, tahan lama, dan-bebas karat. Ruang vakum pelapis sputtering magnetron memiliki banyak katup penghubung untuk menghubungkan berbagai pompa tambahan.
Sistem kontrol pembentukan film pelapis sputtering magnetron dapat mengadopsi metode yang berbeda, seperti waktu pelapisan tetap, inspeksi visual, pemantauan ekstrem, dan pemantauan getaran kristal. Mesin pelapis vakum dan metode pelapisan mesin pelapis vakum juga dibagi menjadi berbagai proses. Yang umum digunakan termasuk lapisan penguapan ion dan lapisan sputtering magnetron. Lapisan film yang dilapisi dengan sputtering magnetron memiliki daya rekat yang kuat dan kemurnian tinggi, serta dapat memercikkan berbagai bahan dengan komposisi berbeda secara bersamaan.
